[ Denkei Recommended ]
CS-8000 Semiconductor Curve tracer
?การทดสอบกำลังสูง 5k สูงสุด 2000A
?การวัดกระแสไฟขนาดเล็กที่แม่นยำ (ความละเอียด 200fA)
?หน้าจอขนาดใหญ่ หน้าจอสัมผัส 12.1 นิ้ว
?ฟังก์ชั่นเอาต์พุตสัญญาณ GATE ต่าง ๆ
?ตัวเลือกการวัดอุณหภูมิลักษณะเฉพาะที่กว้างขวาง
?การทำสอบบนเวเฟอร์กำลังสูงบนโพรบ
เครื่องมือวัดคุณสมบัติกราฟไฟฟ้าของเซมิคอนดักเตอร์ cs-8000 ซีรีย์เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการประเมินคุณสมบัติในทุกกระบวนการโดยการรวมพารามิเตอร์ต่าง ๆ เข้าด้วยกัน และสนับสนุนการวัดค่าเซมิคอนดักเตอร์รุ่นต่อไป
ข้อมูลจำเพาะหลัก
- แรงดันประตู ± 40 V
- ช่วงแรงดันไฟฟ้า 0.2-5 kV
- กระแสสูงสุดที่วัดได้ 2 kA
- ความละเอียดในการวัดปัจจุบัน 250fA
ประโยชน์ของการวัดจริง
?เข้ากันได้กับอุปกรณ์ SiC และ GaN
?เข้ากันได้กับเวเฟอร์และอุปกรณ์พลังงานต่ำ
?เข้ากันได้กับอุปกรณ์กำลังสูง
?รองรับการวัดกระแสนาที
UI ที่ใช้งานง่าย
มาพร้อมกับจอแสดงผลขนาดใหญ่แบบ TFT-LCD (1,280×800) ความละเอียดสูงนอกเหนือจากการใช้งานหน้าจอสัมผัสแล้ว ปุ่มฟังก์ชันที่แผงด้านหน้าและปุ่มควบคุมอิสระสำหรับแต่ละฟังก์ชันช่วยให้ใช้งานได้ง่าย
- พื้นที่แสดงผล XY
สามารถตั้งค่าพารามิเตอร์แรงดัน / กระแสโดยตรงบนหน้าจอบนแกน X และแกน Y ตามลำดับ และสามารถแสดงเส้นโค้งลักษณะพิเศษต่าง ๆ ของเซมิคอนดักเตอร์ได้ เช่น คุณลักษณะ Vds Id แรงดันไฟฟ้าตามหลักเกณฑ์ และลักษณะความอิ่มตัวของ Vds-Vgs คุณยังสามารถตั้งค่าพารามิเตอร์หลายตัวบนแกน Y ได้อีกด้วย สเกลสามารถสลับไปมาระหว่าง Log / Linear
- พื้นที่แสดงผล Y-T
การวัด รูปคลื่นที่ใช้จะแสดงบนแกนเวลาเหมือนออสซิลโลสโคป เนื่องจากสามารถยืนยันความผิดปกติของรูปคลื่น เช่น ความกว้างพัลส์ จุดการวัด และการสั่นได้แบบเรียลไทม์ จึงง่ายต่อการตรวจสอบความถูกต้องของการวัด เนื่องจากข้อมูลรูปคลื่นที่ใช้ทั้งหมดสามารถบันทึกได้พร้อมกันกับข้อมูลที่แสดง XY จึงสามารถยืนยันผลการวัดอีกครั้งได้
- พื้นที่แสดงข้อมูลการวัด
ผลการวัดโดยละเอียด เงื่อนไขการวัด และสถานะจะแสดงในรูปแบบข้อความ
- พื้นที่การตั้งค่าการกำหนดค่า
ตั้งค่าการกำหนดค่าการวัดของอุปกรณ์ จอแสดงผลแบบกราฟฟิกรองรับการเลือกหน่วยแรงดัน / กระแสและการเปลี่ยนแปลงสายไฟ
- พื้นที่การตั้งค่าพารามิเตอร์
ในพื้นที่นี้ คุณสามารถตั้งค่าพารามิเตอร์การวัด และขีดจำกัดการวัด และสลับระหว่างการวัดด้วยตนเองและอัตโนมัติ
- แผงควบคุมการทำงาน
ปุ่มและปุ่มหมุนอยู่ที่แผงด้านหน้าเพื่อให้วัดด้วยมือได้ง่าย แป้นพิมพ์ตัวเลขที่อยู่ตรงกลางช่วยให้คุณสามารถป้อนค่าตัวเลขสำหรับพารามิเตอร์ได้ การวัดด้วยมือสามารถทำได้ง่ายด้วยปุ่มหมุน DRAIN / COLLECTOR, GATE / BASE แกนแนวตั้ง และแกนหมุนแนวนอน
สามารถเลือกหน่วยแรงดัน / กระแสที่จำเป็นสำหรับการวัดได้ตามต้องการใช้งาน
?หน่วย HV
2kV, 5kV หน่วยไฟฟ้าแรงสูง DC / คลื่นพัลส์สามารถเลือกได้ คุณสามารถเลือกการวัดแรงดันคงที่ / กระแสคงที่
- หน่วยหลัก: CS-8200, CS-8500
- แรงดันไฟฟ้าสูงสุด: (กระแสสูงสุด) 2kV (20mA), 5kV (8mA)
- รูปคลื่น: DC, ชีพจร
- ขั้ว: บวกและลบ
- วัดความละเอียดปัจจุบัน: 250fA
?ยูนิต MV (ทั่วไปสำหรับยูนิตหลักทั้งหมด)
เป็นหน่วยแรงดันไฟฟ้าปานกลาง 200V คุณสามารถเลือกการวัดแรงดันคงที่ / กระแสคงที่ นอกจาก DC และพัลส์แล้ว ยังสามารถเลือกรูปแบบคลื่น sine-wave, half-wave และ full-wave ได้
- แรงดันไฟฟ้าสูงสุด (กระแสสูงสุด): 200 โวลต์ (2A)
- รูปคลื่น: DC (200mA), พัลส์ (2A), ไซน์เวฟ, ฮาล์ฟเวฟ, ฟูลเวฟ
- ขั้ว: บวก/ลบ/ทั้งสองขั้ว
- วัดความละเอียดปัจจุบัน 250fA
?หน่วย GATE (ทั่วไปสำหรับหน่วยหลักทั้งหมด)
เป็นหน่วย 40V คุณสามารถเลือกการวัดแรงดันคงที่ / กระแสคงที่ นอกจาก DC และพัลส์แล้ว sine-wave ยังสามารถเลือกได้
- แรงดันไฟฟ้าสูงสุด (กระแสสูงสุด): 40 โวลต์ (1A)
- รูปคลื่น: DC, พัลส์, ไซน์เวฟ
- ขั้ว: บวก/ลบ/ทั้งสองขั้ว
- วัดความละเอียดปัจจุบัน: 250fA
?หน่วย HC
พร้อมกับโหมดกระแสไฟขนาดใหญ่ สามารถรองรับการวัดกระแสขนาดใหญ่ได้ถึง 2000A ความกว้างพัลส์รอบการวัด และช่วงการวัดเปลี่ยนแปลงได้
- หน่วยหลัก: CS-205, CS-210, CS-220
- แรงดันไฟฟ้าสูงสุด (กระแสสูงสุด): 500A (50V), 1kA (50V), 2kA (50V)
- รูปคลื่น: พัลส์
- ความกว้างของพัลส์: 10 μs ถึง 1 ms, 10 μs ถึง 500 ms
- ขั้ว: บวกและลบ
ด้วยการนำสามแกนมาใช้และเพิ่มประสิทธิภาพระบบการวัด การรั่วไหลและสัญญาณ์รบกวนในอุปกรณ์จึงลดลง ทำให้สามารถวัดกระแสชั่วขณะที่เสถียรได้
เอาต์พุตสัญญาณ GATE ต่าง ๆ
- สัญญาณ GATE สามารถส่งออกตามลำดับและนำไปใช้
- ช่วงตัวแปรเวลาพัก 0.000 [s] ถึง 5.000 [s]
- สำรองช่วงแรงดันสัญญาณประตูข้าง -40 [V] ~ +40 [V]
การวัดฮิสเทรีซิส
CS-8000 มีฟังก์ชันที่สะดวกสำหรับการวัดเซมิคอนดักเตอร์แบบ bandgap แบบกว้าง เช่น SiC และ GaN ที่มีฮิสเทรีซิส
ฟังก์ชันการกวาดสองครั้งจะแสดงการกวาดแบบขึ้นและลงพร้อมกัน จึงสามารถสังเกตฮิสเทรีซิสได้
กลไกความปลอดภัย
นอกจากฟังก์ชันอินเตอร์ล็อกแล้ว ยังมีฟังก์ชันจำกัดเอาต์พุตอีกด้วย
สามารถตั้งค่าแรงดันไฟฟ้า กระแสไฟ และขีดจำกัดกำลังเพื่อป้องกันความเสียหายต่อ DUT นอกจากนี้ ฟังก์ชันป้องกันกระแสเกินของฮาร์ดแวร์จะตัดกระแสเมื่อกระแสไหล 1.4 เท่าของช่วงการวัด
ส่วนผสม
คุณสามารถเลือกหน่วย HC หรือฟิกซ์เจอร์ตามแรงดันและกระแสของเป้าหมายการวัด
?ตัวอย่างการกำหนดค่า เมื่อใช้ที่ 2kV, 2000A
- หน่วยหลัก: CS-8200
- หน่วย HC: CS-220
- อุปกรณ์ทดสอบ: CS-322HV / HC
สายอุปกรณ์เสริม
- ชุดสายไฟมาตรฐาน HV CS-021
- ชุดสายไฟมาตรฐาน HC CS-022
หากมีข้อสงสัยเพิ่มเติมเกี่ยวกับตัวเครื่อง CS-8000 Semiconductor Curve tracer สามารถสอบถามเข้ามาได้ที่นิฮอน เดนเคย์ ได้ทุกช่องทางได้เลยครับ
