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產品資訊

IWATSU 高壓CV測量系統 CS-600A系列

適用於 SiC 和 GaN 等功率半導體器件的容量測量

高壓C-V測量系統：CS-605A (5kV) / CS-603A (3kV)

高壓CV測量系統

Model:

CS-600A系列

Maker:

IWATSU TEST INSTRUMENTS CORP

特點

  • 高達 5kV (CS-605A) 或 3kV (CS-603A) 的自動容量測量（具有掃描功能）
  • 可以直接使用與各種設備封裝兼容的曲線追蹤電源供應器
  • 支援系統化，通過探針台對晶圓和芯片進行容量測量
  • 可測量高壓電容量

規格

CS-605A CS-603A
DC偏壓 0-5kV / 0-50V 0-3kV / 0-50V
設置解析度 100mV / 1mV
測量範圍 10kHz 100pF～10nF　 ±5％(±50pF）
100kHz 10pF～1nF 　 ±5％(±2pF）
Cgd:Cds:Cgs=1:1:1，Cgd:Cds:Cgs=1:10:100の時
頻率範圍 10kHz-100kHz
LCR表的測量信號電平範圍 100mV～1V
測量參數 Cies、Ciss（輸入容量）、Coes、Coss（輸出容量）、Cres、Crss（反向傳輸容量）、CT（終端間容量）、Cgs、Cge/Cgd、Ccg/Cds、Cce（計算值）、Rg （柵極電阻）
測量模式 C-V：容量與偏置電壓，C-G：容量與柵極電壓，C-Time：容量與時間
柵極偏置 +/-25V at 1mV/step
掃描類型 線性/對數/列表/單
掃描方向 UP Sweep
測量點 5000點
其他 波形比較，REF顯示，帶互鎖功能，外部互鎖（可選）
外形尺寸/重量 約330W×370D×230H（mm）※不包括突出部分 / 約 8.5kg
工作溫度範圍 0 ℃ ～ +40 ℃
保證性能溫度範圍 23℃±5 ℃
工作濕度範圍 0 〜 + 40°C，5% 〜 80% RH（30°C，無冷凝）
上限55% RH（40℃，無凝露）
電源輸入範圍 AC 100-240 V 50/60Hz
消耗功率 35VA

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