Tsukuba Seiko Supporter系統

是顛覆靜電吸盤的常識，無需供電單元就能夠保持吸附的便攜型靜電吸盤 將為半導體的製造流程帶來革命

Supporter是通過在具有一定強度的基材的正反兩面間夾住特殊的原材料來實現⼀體成型的靜電吸盤，並作為夾具（Carrier）被用於在半導體製造工序中支撐晶圓。
除了筑波精⼯現有的靜電吸盤具有的特色之外，還具備即使與供電單元分離也能夠保持吸附⼒的特⾊。
一旦使用供電單元，施加電場，就能半永久地維持保持⼒，將對象物件與“Supporter”分離時，如果再次使用供電單元，解除電場，就能夠隨時將“Supporter”與對象物件分離。