Mitutoyo 非接觸式3D量測系統 Hyper QV WLI | 台灣電計國際股份有限公司

非接觸式3D量測系統

非接觸式3D量測系統 Hyper QV WLI

Model:

QVW-H302P1L-D/QVW-H404P1L-D/QVW-H606P1L-D

Maker:

MITUTOYO

Hyper Quick Vision WLI 是Mitutoyo領先業界、高精度的雙測頭測量系統，配備有白光干涉儀 (WLI, white light interferometer) 光學頭。
以WLI光學頭裝備影像測定機，可以使機器能夠執行範圍從2D座標和尺寸測量，到在例如表面分析、小直徑孔深度和電路板接線尺寸等應用中的微觀區域的高精度的3D測量。WLI量測原理
白光被分成兩束，一束對干涉物鏡內的參考反射鏡，另一束對測量樣本。當干涉物鏡在Z方向掃，白色干涉條紋只對在對焦的測量樣本的區域產生。
被測量物體的3D形狀的計算是透過偵測在CCD的每個像素位置的干涉條紋的強度的峰值位置。

機型		Hyper QV WLI 302	Hyper QV WLI 404	Hyper QV WLI 606
型號		QVW-H302P1L-D	QVW-H404P1L-D	QVW-H606P1L-D
Code No.		363-713-10	363-714-10	363-715-10
光學系統		PRO
■WIL影像光學頭裝置
測定範圍		215×200×190mm	315×400×240mm	515×650×220mm
CCD成像裝置		黑白
照明裝置	同軸光	鹵素
最大Z量測範圍Z		QVWLI A-5x:3.6mm,QVWLI A-10x :3.6mm,QVWLI A-25x:2.2mm
Z軸重複精度		2σ≦0.08μm
■影像光學頭裝置
測定範圍		300×200×190mm	400×400×240mm	600×650×220mm
解析度/測長裝置		0.01μm／線性編碼器
倍率裝置		程式控制電動砲塔 1×-2×-6×
CCD成像裝置		黑白
照明裝置	同軸光	白色LED
	透過照明	白色LED
	程式控制環形照明(PRL)	白色LED
測定精度	E₁ XY 軸	（0.8＋2L/1000）μm
	E₁ Z 軸	（1.5＋2L/1000）μm
	E₂ XY平面	（1.4＋3L/1000）μm
	精度保證光學條件	2.5倍物鏡＋管鏡頭的中間倍率
精度保證溫度	環境溫度	20±1℃
	溫度變化	0.5℃/1H
載物台玻璃尺寸		399×271mm	493×551mm	697×785mm
工件最大重量		15kg	25kg	35kg
本體外觀尺寸		859×950×1606mm	1027×1407×1781mm	1309×1985×1792mm
本體重量(含設置台)		490kg	1160kg	2275kg
氣壓		0.4MPa
溫度補償功能		自動溫度補正