KANOMAX 掃描型液體奈米落塵計數器 ScanningTPC Model 9010

世界上第一個浸沒式落塵計數器，可測量的最小粒徑為10nm，並能以高靈敏度連續監測超純水的顆粒汚染

掃描型液體奈米落塵計數器

Model:

9010

Maker:

KANOMAX JAPAN

特點

實現了世界上第一個最小可測量粒徑10 nm
SEMI指南推薦的領先研究人員推薦的測量方法和開發
體積小巧，攜帶方便
可以在10到20 nm之間以5 nm的增量設置測量的粒度

規格

測定方式	通過原始霧化器和冷凝粒子計數器（CPC）進行測量
測定粒徑	10 ～ 20 nm 之間每隔5 nm 設定（10 nm 以上、15 nm 以上、20 nm 以上）檢出効率50%
Channel調整時間	3 ～ 10 分（粒徑Channel變更時、到達安定所需時間）
測定範圍	10³ ～ 10¹⁰ 個/mL
檢査堆積率	<1 μL/min >10 μL/min( 針對導入試料的實際量測液量)
總流量	50 ～ 280 mL/min
濃度變化反應時間	30 秒（對濃度變化之反應時間）
試料水壓	200 ～ 500 kPa (29 ～ 72 psig)
壓縮空氣流量/壓力	25std L/min CDA 或是氮氣
UPW不揮發残留物最大量∗	在粒徑Channel 10 nm 下200 ppt、20 nm 下1 ppb
接液部	PFA, PTFE, PEEK, 藍寶石、316L 不鏽鋼
檢出作動流體	特級正丁醇
作動流體消費速度	約150 mL/ 日(1周消耗1 瓶)
作動流體的蒸氣除去	透過室內真空吸塵（不使用外部真空源時）
檢出真空源	内建泵或外部真空源流量１L/min、絶對壓力400m bar
動作環境	溫度：15 ～ 35℃　濕度：0 ～ 85％無結露
電源（噴霧器）	海外對應 100-240 VAC, 50/60 Hz, 最大90 W
電源（檢出器）	海外對應 100-240 VAC, 50/60 Hz, 最大210 W
輸出	Modbus 用RJ-45、USB Flash type
內部記憶裝置	Micro SD
超純水入口	1/4 英吋(6.35 mm)PFA Flaretek®
排水出口	1/2 英吋(12.7 mm)SS Swagelok®
壓縮空氣入口	1/4 英吋(6.35 mm)SS Swagelok®
檢測真空	1/4 英吋 (6.35 mm)SS Swagelok® port
顯示器	7 英吋TFT 彩色、觸碰面板( 長87 mm× 寬154 mm)
外形尺寸	420(W)x430(D)×270(H) mm
重量	16.1 kg

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