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項目清單
產品資訊
- 産品資訊
- IWATSU 半導體曲線追蹤儀 CS-8000系列
各種單元的組合非常適合所有過程中的特性評估，並支援下一代半導體測量
半導體曲線追蹤儀
Model:
CS-8000系列
Maker:
IWATSU TEST INSTRUMENTS CORP
特點
- 最大5kV、最大2000A的大功率測試
- 精確的微小電流測量（解析度50fA）
- 大畫面12.1英吋觸碰螢幕
- 多種GATE信號輸出功能
- 全溫度特性測量選項
- 使用探針的大功率晶圓測試
規格
| 主機 型號 | CS-8020 | CS-8200 | CS-8500 |
| HV單元 | |||
| 最大峰值電壓（最大電流） | ― | 2 kV（20 mA） | 5 kV（8 mA） |
| 測量電壓範圍（滿量程） | ― | 2 kV ～ 50 V | 5 kV ～ 50 V |
| 測量電流範圍 | ― | 20 mA ～ 50 μA | 20 mA ～ 50 μA |
| 最小測量電流解析度 | ― | 250 fA | 250 fA |
| 波形 | ― | DC・脈衝 | DC・脈衝 |
| MV單元 | |||
| 最大峰值電壓（最大電流） | 200 V（1 A） | ||
| 測量電壓範圍（滿量程） | 200 V ～ 200 mV | ||
| 測量電流範圍 | 2 A ～ 5 nA | ||
| 最小測量電流解析度 | 250 fA | ||
| 波形 | DC（200 mA）、 脈衝（2 A）、 SIN、半波、全波 | ||
| GATE單元 | |||
| 最大峰值電壓（最大電流） | 40 V（1 A） | ||
| 測量電壓範圍（滿量程） | 50 V ～ 1 V | ||
| 測量電流範圍 | 1 A ～ 5 nA | ||
| 最小測量電流解析度 | 250 fA | ||
| 波形 | DC・脈衝・SIN（50 Hz） | ||
| 標準配件 | 電源線、控制接口終端機、使用說明書（手冊+CD） | ||
| HC單元 型號 | CS-205 | CS-210 | CS-220 |
| 最大峰值電流（最大電壓） | 500 A（50 V） | 1,000 A（50 V） | 2,000 A（50 V） |
| 測量電壓範圍（滿量程） | 50 V ～ 200 mV | 50 V ～ 200 mV | 50 V ～ 200 mV |
| 測量電流範圍 | 500 A ～ 5 A | 1,000 A ～ 5 A | 2,000 A ～ 5 A |
| 波形 | 脈衝（寬度10 μs ～ 1 ms） | 脈衝（寬度10 μs ～ 500 μs） | 脈衝（寬度10 μs～ 500 μs） |
| 標準附件 | 電源線、HC-FIXTURE 連接單元、使用說明書 | ||
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