IWATSU 高壓CV測量系統 CS-600A系列 | 台灣電計國際股份有限公司
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產品資訊

IWATSU 高壓CV測量系統 CS-600A系列

適用於 SiC 和 GaN 等功率半導體器件的容量測量

高壓C-V測量系統:CS-605A (5kV) / CS-603A (3kV)

高壓CV測量系統

Model:

CS-600A系列

Maker:

IWATSU TEST INSTRUMENTS CORP

特點

  • 高達 5kV (CS-605A) 或 3kV (CS-603A) 的自動容量測量(具有掃描功能)
  • 可以直接使用與各種設備封裝兼容的曲線追蹤電源供應器
  • 支援系統化,通過探針台對晶圓和芯片進行容量測量
  • 可測量高壓電容量

規格

CS-605A CS-603A
DC偏壓 0-5kV / 0-50V 0-3kV / 0-50V
設置解析度 100mV / 1mV
測量範圍 10kHz 100pF~10nF  ±5%(±50pF)
100kHz 10pF~1nF   ±5%(±2pF)
Cgd:Cds:Cgs=1:1:1,Cgd:Cds:Cgs=1:10:100の時
頻率範圍 10kHz-100kHz
LCR表的測量信號電平範圍 100mV~1V
測量參數 Cies、Ciss(輸入容量)、Coes、Coss(輸出容量)、Cres、Crss(反向傳輸容量)、CT(終端間容量)、Cgs、Cge/Cgd、Ccg/Cds、Cce(計算值)、Rg (柵極電阻)
測量模式 C-V:容量與偏置電壓,C-G:容量與柵極電壓,C-Time:容量與時間
柵極偏置 +/-25V at 1mV/step
掃描類型 線性/對數/列表/單
掃描方向 UP Sweep
測量點 5000點
其他 波形比較,REF顯示,帶互鎖功能,外部互鎖(可選)
外形尺寸/重量 約330W×370D×230H(mm)※不包括突出部分 / 約 8.5kg
工作溫度範圍 0 ℃ ~ +40 ℃
保證性能溫度範圍 23℃±5 ℃
工作濕度範圍 0 〜 + 40°C,5% 〜 80% RH(30°C,無冷凝)
上限55% RH(40℃,無凝露)
電源輸入範圍 AC 100-240 V 50/60Hz
消耗功率 35VA

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